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氣體濃度。在一定的范圍內，環氧乙烷殺菌效力隨著氣體濃度的增加而增加。行業規范WS310.2-2016里面規定小型環氧乙烷滅菌器的工作濃度為450mg/L – 1200mg/L。如果使用百分之100純環氧乙烷氣罐，則一次使用一罐能夠保證足夠的氣體濃度。
環氧乙烷氣體濃度無法直接監測，但是可以通過探頭感知的氣體壓強來推算。起先的氣體壓強下降是由于抽真空過程。隨著EO氣罐的刺破，環氧乙烷氣體釋放從而使氣體壓強維持恒定，是為平臺期。隨后進行通氣，氣壓也隨著環氧乙烷排出而降低或隨新鮮空氣的注入而升高。值得注意的是紅色曲線一直位于“標準大氣壓”的直線以下，從而保證環氧乙烷氣體在全過程不會泄露。
滅菌溫度。在一定范圍內溫度上升10℃，環氧乙烷的殺菌速度約增加一倍。然而考慮到環氧乙烷是用來滅菌不耐熱的物品，一般滅菌溫度范圍在37℃ -63℃之間。3M環氧乙烷滅菌器給出兩種溫度選擇：37℃ 或55℃。這里顯示的滅菌循環溫度在37℃。
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