環氧乙烷滅菌流程步驟：裝載--加熱--保溫--預真空--保壓--加濕--加藥--滅菌--清洗--解析

裝載：被滅菌物質在滅菌室的包裝形式、擺放位置--主要影響環氧乙烷的穿透性、環氧乙烷在滅菌室內的氣體循環性、室內溫度濕度分布的均勻性。裝載量通常小于80%。

加熱：滅菌室應被加熱至預設定溫度，通常溫度范圍在30~65℃。在此范圍內，隨著溫度的升高，環氧乙烷的殺菌作用加強，同時也能增強其穿透力和縮短滅菌作用的時間。但是當溫度高到足以使藥物發揮作用時，再升高溫度，則殺菌作用亦不再加強。通常選擇的溫度是54°C±10°C。

保溫：目的是維持滅菌室內的溫度穩定，通過溫度傳感器確認滅菌室內溫度符合要求（傳感器的位置，通常為滅菌室內極限位置）。

預真空：應排除滅菌室和負載中的空氣，預真空度的大小決定殘留空氣的多少，而殘留空氣可直接影響環氧乙烷氣體、熱量、濕氣到達被滅菌物品的內部，所以加濕前的真空度對滅菌效果影響是非常大的。

保壓：真空度維持穩定、無泄漏。

加濕：滅菌物品的含水量、微生物本身的干燥程度和滅菌環境的相對濕度，對環氧乙烷的滅菌作用均有顯著的影響。在抽真空后、加藥前，此時滅菌器內的濕度應控制30%RH～80%RH范圍內?。在環氧乙烷滅菌工藝中，濕度是主要的參數。在實際滅菌時，被滅菌物品常常用紙或塑料薄膜、紙盒等包裝，滅菌過程中一部分水分和環氧乙烷被包裝物吸收，因此必須根據滅菌物品及包裝物的濕度和吸收情況來選擇合適的相對濕度，通常選擇60%±10%的相對濕度。

加藥：整個如藥過程應保證環氧乙烷充分氣化，以氣體狀態進入滅菌室。環氧乙烷的加入量（濃度）和加入速度，應能控制和調節；加入環氧乙烷氣體后，滅菌室的壓力不應超過滅菌器的工作壓力。加入環氧乙烷的濃度需考慮：產品的裝載量、加入時所需的時間、環氧乙烷殘留量。

滅菌：滅菌時間與環氧乙烷濃度相關，環氧乙烷濃度高，滅菌時間短，環氧乙烷濃度低，滅菌時間長。

清洗：重復用過濾后的清潔空氣，置換滅菌室內余下的殘氣。

解析：滅菌后的物品應當存放在受控的通風環境中，以便將殘留的氣體及反應產物降至規定的限度內。